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    石墨支架結構設計、承重特性與爐內熱場支撐應用

    石墨支架是真空爐、燒結爐內熱場輔助支撐構件,包含小型支撐墊塊、側邊支架、隔熱層支撐托架等,配合石墨爐床、石墨柱分擔隔熱板、治具的局部載荷,多用於多層隔熱屏分層支撐、小型工裝側邊限位,結構樣式靈活多樣,尺寸偏小但對平整度、抗壓、抗熱震性能要求嚴苛。

    石墨支架選用高密度細結構石墨加工,整體結構緊湊致密,無疏鬆沙眼,高溫承重不易斷裂、塌陷。加工根據支撐位置需求定製平板式、L 型托架、台階限位支架,上下支撐接觸麵精磨平行,多層堆疊受力均勻,避免單點應力集中高溫開裂。多層隔熱屏配套的石墨支架尺寸統一,保證隔熱板材水平排布,隔熱縫隙均勻,減少熱量外泄,降低電爐能耗。高溫重載工況可選用碳碳複合材料支架,強度、韌性優於普通石墨支架。

    石墨支架頭



    真空半導體設備配套石墨支架必須使用高純低灰石墨,加工無塵無油汙,避免高溫析出雜質汙染晶圓;空氣連續燒結設備支架噴塗抗氧化塗層,延長循環使用壽命。很多廠家忽略支架平整度,隔熱板材傾斜,爐膛溫差變大,工件燒結品質參差不齊。青青草黄色下载石墨可按需定製各類異形石墨支架,圖紙、舊樣品均可複刻,標準小件現貨充足,非標支架快速加工,適配各類真空爐、推板窯熱場分層裝配。

    石墨支架承擔爐內熱場局部支撐、限位作用,規格匹配、平整耐用的石墨支架,能夠保證多層隔熱結構排布規整,均衡爐膛溫度,減少熱量損耗,輔助整套熱場穩定運行,降低工件燒結不良率。


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